Получить удостоверение по специальности: "Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев"

Профессия Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев. Получить корочку или повысить разряд во Владимире

Характеристика работ. Ведение процесса наращиванияэпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев сопределенными параметрами на установках эпитаксиального наращивания. Подготовкаоборудования к работе, проверка оборудования на герметичность, загрузка иразгрузка подложек. Контроль и корректировка режима процесса наращивания.Проверка качества применяемых подложек, материалов. Ведение процесса газовоготравления. Замер температуры оптическим пирометром. Заправка испарителей SiCl4.Снятие и установка кварцевой оснастки на оборудовании различных типов.Проведение профилактики газовой системы. Замена баллонов.

Должен знать: устройство важнейших частей, принцип действияустановок эпитаксиального наращивания и контрольно-измерительных приборов;свойства химикатов, применяемых для наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,диэлектрических и металлических слоев; реакции, происходящие на поверхностиподложки в процессе наращивания; влияние примесей на качество эпитаксиальных,поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; способыградуирования ротаметров; методы измерения и регулирования температуры процессанаращивания испарителей, охлаждения реактора; правила работы с баллонами,магистральными газами и газовыми смесями.

Примеры работ

Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические,металлические слои - наращивание однослойных структур.

§ 22. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев 4-го разряда

Характеристика работ. Ведение процесса наращиванияэпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев всехтипов. Корректировка процесса наращивания по результатам контрольного процесса.Расчет скорости наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,диэлектрических и металлических слоев. Расчет концентрации легирующей примеси.Карбидизация графитовых нагревателей (пьедесталов). Приготовление растворовSiCl4 с определенной концентрацией легирующей примеси. Определение неисправностейв установках.

Должен знать: устройство и способы подналадки оборудованияразличных типов; методы наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,диэлектрических, металлических слоев и их свойства; свойства полупроводниковыхматериалов; свойства газов; методы измерения основных электрофизических иструктурных параметров эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических иметаллических структур; устройство, назначение и условия применения приборовдля контроля процесса, системы газораспределения и водяного охлаждения; влияниеконцентрации легирующей примеси на параметры эпитаксиальных структур,поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; основыэлектротехники в пределах выполняемой работы.

Примеры работ

Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические иметаллические слои - наращивание структур со скрытыми слоями.

§ 23. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев 5-го разряда

Характеристика работ. Ведение процессов наращиваниямногослойных эпитаксиальных структур, диэлектрических слоев. Наращиваниесверхтонких поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев.Устранение разброса параметров слоев различными методами. Замена стаканов инастройка индукторов по температурному режиму на установках, использующихВЧ-нагрев. Настройка температурного режима процесса на установках, использующихинфракрасные и другие виды нагрева. Задание режимов на электронной системеуправления технологическим процессом.

Должен знать: электрическую и газовую схему обслуживаемогооборудования, способы ее проверки, основные неисправности и методы ихустранения; режимы и правила проведения процессов для получения сложных имногослойных эпитаксиальных структур, поликристаллических, диэлектрических,металлических слоев; правила настройки и регулировки приборов для контроляпроцесса, основы теории процесса эпитаксиального наращивания; правила работы сэлектронной системой управления технологическим процессом.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Структуры многослойные эпитаксиальные - наращивание сзаданными параметрами.

2. Структура многослойная диэлектрик-полупроводник -наращивание.

3. Слои тонкие эпитаксиальные - наращивание.

§ 24. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев 6-го разряда

Характеристика работ. Самостоятельное ведение процессовполучения эпитаксиальных, диэлектрических, поликристаллических и металлическихслоев любого назначения на оборудовании различных типов. Проведение процессов,стимулированных плазмой, и процессов с использованием газообразных, жидкостныхи твердых источников. Проведение экспериментальных и опытных работ понаращиванию слоев. Самостоятельная корректировка режимов в процессе работы.Расчет концентрации легирующей примеси, расчет скорости потоков паров и газов,температурных режимов. Задание и корректировка режимов на электронной системеуправления технологическим процессом.

Должен знать: конструкцию, способы и правила наладкиразличных типов оборудования; правила работы с электронной системой управлениятехнологическим процессом; методы прецизионной обработки полупроводниковыхматериалов; методы расчета концентрации легирующей примеси; особенностипроцессов диффузии и наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,диэлектрических и металлических слоев; конструкцию полупроводниковых приборов итвердых схем на основе эпитаксиальных структур; основы теории полупроводников;физические и химические основы технологических процессов наращивания.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Многослойные эпитаксиальные структуры - наращивание сразличными заданными параметрами.

2. Локальная эпитаксия - наращивание.

Комментарии к профессии

Приведенные тарифно-квалификационные характеристики профессии «Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев» служат для тарификации работ и присвоения тарифных разрядов согласно статьи 143 Трудового кодекса Российской Федерации. На основе приведенных выше характеристик работы и предъявляемых требований к профессиональным знаниям и навыкам составляется должностная инструкция оператора по наращиванию эпитаксиальных слоев, а также документы, требуемые для проведения собеседования и тестирования при приеме на работу. При составлении рабочих (должностных) инструкций обратите внимание на общие положения и рекомендации к данному выпуску ЕТКС (см. раздел «Введение»).

Обращаем ваше внимание на то, что одинаковые и схожие наименования рабочих профессий могут встречаться в разных выпусках ЕТКС. Найти схожие названия можно через справочник рабочих профессий (по алфавиту).